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四（甲乙胺）鉿
關(guān)鍵詞：
關(guān)鍵詞：
MO源領(lǐng)域、電子級碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機(jī)油領(lǐng)域
所屬分類：
產(chǎn)品描述
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中文名 |
化學(xué)式 |
CAS號 |
英文簡稱 |
英文名 |
類別 |
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四（甲乙胺）鉿 |
C12H32HfN4 |
352535-01-4 |
TEMAH |
Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1) |
前驅(qū)體 |
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四（甲乙胺）鉿 （TEMAH） |
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化學(xué)式 |
C12H32HfN4 |
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中文名稱 |
四（甲乙胺）鉿 |
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英文名稱 |
Ethanamine, N-methyl-,hafnium(4+) salt (4:1) |
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CAS No. |
352535-01-4 |
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分子量 |
410.9 |
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應(yīng)用 |
主要用于CVD和ALD的前驅(qū)體材料，用于沉積鉿的前驅(qū)物，制備鉿氧化物薄膜；可以用于COMS和下一代DRAM的高k絕緣材料，廣泛應(yīng)用于45nm下直至7nm技術(shù)等先進(jìn)CMOS集成電路技術(shù)中。其應(yīng)用于新型阻變/憶阻器件(RRAM)研究中，可展現(xiàn)良好的微縮特性，還可在10nm尺度下保持良好的阻變特性；在鐵電存儲器件(FeRAM)、鐵電場效應(yīng)晶體管(FeFET)、鐵電負(fù)電容晶體管(NC-FET)、鐵電隧道結(jié)等新功能器件制造方面表現(xiàn)出良好的微縮特性，為類腦型神經(jīng)形態(tài)計算等變革性技術(shù)研究與發(fā)展提供新的途徑。還可替代二氧化硅，作為金屬-氧化物-半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET)的柵極。 |
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產(chǎn)品規(guī)格 |
6N（99.9999%） |
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